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環保工程,無塵車間廠家
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怎么控制無塵車間的污染

2021-09-14 02:50:18

無塵車間的溫度和濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求時,應考慮人的舒適性,隨著空氣潔凈度要求的提高,對溫度和濕度的要求也越來越嚴格,隨后將列舉凈化工程具體工藝的溫度要求,但作為一般原則,隨著加工精度的提高,對溫度波動范圍的要求也越來越小。


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  在用于大規模集成電路生產的平版印刷曝光工藝中,玻璃和硅片作為掩模材料的熱膨脹系數的差異需要越來越小,直徑100微米、溫升1度的硅片會引起0.24微米的線性膨脹,因此它必須具有±0.1度的恒溫,濕度值一般較低,因為人出汗后,產品會受到污染。


  車間的溫度不應超過25度,濕度過高會造成更多的問題,當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁會形成結露,如果發生在精密設備或電路中,會引起各種事故,相對濕度為50%時容易生銹,另外,當濕度過高時,附著在硅片表面的灰塵被空氣中的水分子化學吸附在表面上,難以去除,相對濕度越高,越難去除,但當相對濕度低于30%時,由于靜電力,顆粒也容易吸附到表面,大量半導體器件容易擊穿,晶圓生產的溫度范圍為35-45%。


無塵車間有哪些要求規范


  無塵車間內對凈化起到主導作用的就是凈化空調系統,但凈化室內的結構也是很重要的,根據建設部頒布的GB50333-2002《醫院潔凈手術部建筑技術規范》和GB50073-2001《潔凈廠房設計規范》的要求,建筑裝飾不能產生灰塵、不得積塵、耐腐蝕、防潮防霉并且容易清潔,符合防火要求,墻面也要求不易開裂且做到阻燃的材料。


  根據車間內產品制作的要求來選擇對應的無塵等級,因為這方面的等級劃分也比較嚴格,如果要求高建議選擇等級合適的,不然會不符合要求影響到產品的生產。


蕪湖慧爾凈化設備有限公司擁有一支從事環保工程設計制造、潔凈廠房等廠房凈化產品開發研制,施工安裝的高素質工程技術隊伍和一個配套無塵凈化工程設備生產工廠。如果您有相關業務需要,歡迎來電咨詢。希望我們的合作能從此刻開始!


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