怎么控制無塵車間的污染

2021-09-14 02:50:18

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無塵車間的溫度和濕度主要根據工藝要求確定，但在滿足工藝要求時，應考慮人的舒適性，隨著空氣潔凈度要求的提高，對溫度和濕度的要求也越來越嚴格，隨后將列舉凈化工程具體工藝的溫度要求，但作為一般原則，隨著加工精度的提高，對溫度波動范圍的要求也越來越小。

無塵車間廠家,無塵車間

　　在用于大規模集成電路生產的平版印刷曝光工藝中，玻璃和硅片作為掩模材料的熱膨脹系數的差異需要越來越小，直徑100微米、溫升1度的硅片會引起0.24微米的線性膨脹，因此它必須具有±0.1度的恒溫，濕度值一般較低，因為人出汗后，產品會受到污染。

　　車間的溫度不應超過25度，濕度過高會造成更多的問題，當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會形成結露，如果發生在精密設備或電路中，會引起各種事故，相對濕度為50%時容易生銹，另外，當濕度過高時，附著在硅片表面的灰塵被空氣中的水分子化學吸附在表面上，難以去除，相對濕度越高，越難去除，但當相對濕度低于30%時，由于靜電力，顆粒也容易吸附到表面，大量半導體器件容易擊穿，晶圓生產的溫度范圍為35-45%。

無塵車間有哪些要求規范

　　無塵車間內對凈化起到主導作用的就是凈化空調系統，但凈化室內的結構也是很重要的，根據建設部頒布的GB50333-2002《醫院潔凈手術部建筑技術規范》和GB50073-2001《潔凈廠房設計規范》的要求，建筑裝飾不能產生灰塵、不得積塵、耐腐蝕、防潮防霉并且容易清潔，符合防火要求，墻面也要求不易開裂且做到阻燃的材料。

　　根據車間內產品制作的要求來選擇對應的無塵等級，因為這方面的等級劃分也比較嚴格，如果要求高建議選擇等級合適的，不然會不符合要求影響到產品的生產。

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